配線用銅薄膜機械特性の製造方法依存性の検討

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• エレクトロニクス実装学会の論文
• 2005-10-13

著者

• 玉川 欣治

  東北大

関連論文

• 1201 めっき銅薄膜の疲労強度特性の熱履歴依存性(S05-1 ナノ・マイクロ材料の強度・信頼性(1)銅薄膜の強度物性,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
• 140 微細貫通孔形成銅めっき膜による走行車両負荷振幅測定の検討(材料力学II)
• 139 めっき銅薄膜疲労強度の微細組織依存性(材料力学II)
• 113 薄膜配線用めっき銅薄膜電気機械特性の微細組織依存性(学生賞III)
• 1924 銅薄膜配線の微細組織と機械的特性評価(J16-3 電子情報機器,電子デバイスの熱制御と強度・信頼性評価(3),J16 電子情報機器,電子デバイスの熱制御と強度・信頼性評価)
• 142 Cuめっき薄膜配線の機械特性に及ぼすめっき条件の影響(材料力学IV)
• 銅めっき薄膜機械特性の微細組織依存性 (特集 マイクロマテリアル)
• 102 めっき銅薄膜機械的特性の結晶構造依存性関する基礎的検討(材料力学I)
• 101 めっき銅薄膜内部の機械的特性分布に関する基礎的検討(材料力学I)
• 3951 電解めっき銅薄膜の微細組織と強度物性(S21-2 静的強度評価,S21 ナノ・マイクロ構造体の強度物性と信頼性)
• P58 Cu薄膜の機械特性変化支配因子の検討(薄膜,ポスター講演3)
• 1469 微細三角形貫通孔形成による銅メッキニ軸応力場測定の高感度化(S20-6 応力・ひずみ分布計測法(2),S20 実験力学的手法による材料・製品の評価)
• 612 正三角形貫通孔による二次元銅メッキ応力測定法の検討(GS-12 材料力学)
• 220 微細貫通スリット形成による銅メッキ膜応力測定法の感度向上(材料力学 IV,2.学術講演)
• 219 銅メッキ膜を用いた高感度二軸場応力測定方法の開発(材料力学 IV,2.学術講演)
• 配線用銅薄膜機械特性の製造方法依存性の検討
• 微細スリットを形成した銅メッキ膜を用いた二軸応力場測定方法の検討(材料力学I-2)
• 微細スリット形成銅メッキ膜を用いた応力測定法の感度(S05-4 薄膜・微細構造物の機械特性評価,S05 薄膜の強度物性と信頼性)
• 銅メッキ膜応力測定法における微細スリット形状の最適化(S05-4 薄膜・微細構造物の機械特性評価,S05 薄膜の強度物性と信頼性)
• 211 銅メッキ膜応力測定法感度に及ぼす微細スリット構造の影響(材料力学II)
• 123 繰り返し負荷による銅めっき膜中の結晶成長メカニズム(材料力学I)
• 113 めっき銅薄膜強度物性のナノスケール微細組織依存性(学生賞III)
• 210 微細スリットによる鋼メッキ応力測定法の感度向上メカニズム(材料力学II)
• 209 微細スリット制御による銅メッキ応力測定法の感度向上
• J0601-3-1 めっき銅薄膜配線の強度信頼性に及ぼす微細組織の影響([J0601-3]電子情報機器,電子デバイスの強度・信頼性評価と熱制御(3))
• OS0620 めっき銅薄膜疲労強度特性に及ぼす結晶粒界性状の影響(OS06-05 材料強度の発現機構,OS06 微視構造を有する材料の変形と破壊(3))
• 315 繰り返し負荷を受ける微細四角形貫通孔形成銅めっき膜の結晶成長メカニズム(OS2-3 皮膜・薄膜の環境強度,OS2 薄膜・皮膜とその膜構造の特性評価)
• 311 軸疲労試験による電解めっき銅薄膜の疲労強度に関する検討(OS2-2 皮膜・薄膜の機械的特性,OS2 薄膜・皮膜とその膜構造の特性評価)
• 606 めっき銅薄膜配線のストレスマイグレーション耐性(OS6-1 シリコン貫通ビア技術と強度信頼性)
• 135 めっき銅薄膜を用いた回転体表面ひずみ振幅の評価(材料力学II,一般講演)
• 1503 めっき銅薄膜の結晶粒界性状と強度物性(OS15-1 ナノ・マイクロの視点からの変形と破壊の力学)
• 134 めっき銅薄膜の疲労強度に及ぼす結晶粒界性状の影響(材料力学II,一般講演)
• めっき銅薄膜配線ストレスマイグレーション支配因子の解明 (高密度実装を牽引する材料技術とヘテロインテグレーション論文特集)
• 115 変動負荷環境下におけるめっき銅薄膜の結晶組織変化(材料力学I,一般講演)

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク