斉藤 直樹 | 東北大工
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概要
関連著者
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斉藤 直樹
東北大工
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齋藤 直樹
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
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村田 直一
東北大
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村田 直一
東北大学大学院工学研究科
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三浦 英生
東北大学大学院工学研究科
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鈴木 研
東北大学大学院工学研究科
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玉川 欣治
東北大学大学院工学研究科エネルギー安全科学国際研究センター
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三浦 英生
東北大学大学院工学研究科エネルギー安全科学国際研究センター
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鈴木 研
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
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玉川 欣治
東北大
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三浦 英生
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
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三浦 英生
東北大
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三浦 英生
東北大通研
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村田 直一
東北大院
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鈴木 研
東北大
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齋藤 直樹
東北大院
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三浦 英生
東北大学
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鈴木 研
東北大学大学院工学研究科エネルギー安全科学国際研究センター
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村田 直一
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
鈴木 研
東北大学エネルギー安全科学国際研究センター
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三浦 英生
東北大学エネルギー安全科学国際研究センター
-
村田 直一
東北大学
-
斎藤 直樹
東北大学
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鈴木 研
東北大学大学院工学研究科付属エネルギー安全科学国際研究センター
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玉川 欣治
東北大学大学院工学研究科付属エネルギー安全科学国際研究センター
著作論文
- 103 めっき銅薄膜配線マイグレーション耐性の微細組織依存性(若手優秀講演フェロー賞対象講演(1))
- 606 めっき銅薄膜配線のストレスマイグレーション耐性(OS6-1 シリコン貫通ビア技術と強度信頼性)
- めっき銅薄膜配線ストレスマイグレーション支配因子の解明 (高密度実装を牽引する材料技術とヘテロインテグレーション論文特集)
- めっき銅薄膜配線ストレスマイグレーション支配因子の解明(高密度実装を牽引する材料技術とヘテロインテグレーション論文)
- OS1612 薄膜多結晶材料の粒界性状評価と強度物性との相関性(OS16-2 微視的な視点からの変形と強度,OS-16 ナノ・マイクロの視点からの変形と破壊の力学)
- J031053 めっき銅薄膜配線のストレスマイグレーション支配因子の解明([J03105]電子情報機器,電子デバイスの強度・信頼性評価と熱制御(5))
- めっき銅薄膜配線ストレスマイグレーション支配因子の解明