3族窒化物RF-MBE成長における励起窒素分子の利用 (第46回 同志社大学理工学研究所研究発表会 2007年度 同志社大学ハイテク・リサーチ,学術フロンティア合同シンポジウム)

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概要

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著者

• 和田 元

  同志社大院工

• 和田 元

  Doshisha University

• 大鉢 忠

  同志社大・理

• 和田 元

  同志社大学

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• 01aB01 RF-MBE法に用いる窒素ラジカル源の低輝度と高輝度励起モード切換(半導体エピ(1),第36回結晶成長国内会議)
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