超格子キャップ層を用いた低ソース抵抗AlGaN/GaN HFET (特集/第20回テクノフェスタ)
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概要
著者
-
村田 智洋
パナソニック株式会社セミコンダクター社半導体デバイス研究センター
-
引田 正洋
パナソニック株式会社
-
広瀬 裕
松下電器産業株式会社半導体社事業本部半導体デバイス研究センター
-
廣瀬 裕
松下電器産業株式会社半導体社半導体デバイス研究センター
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