Location Control of Si Thin-Film Grain Using Ni Imprint and Excimer Laser Annealing (Special Issue: Active-Matrix Liquid-Crystal Displays--TFT Technologies and Related Materials)
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概要
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- Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physicsの論文
著者
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Asano Tanemasa
Center For Microelectronics Systems Kyushu Institute Of Technology
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Asano Tanemasa
Center For Microelectrortic Systems Kyushu Institute Of Technology
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