磁気ディスクアルミニウム基板加工用弗素樹脂多孔質真空チャックの開発-1-チャックとしての基礎特性

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概要

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著者

• 上村 康幸

  東京大学生産技術研究所

• 佐藤 壽芳

  東京大学

• 大島 孝郎

  日興リカ(株)群馬工場

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