Production of Low-Electron-Temperature Electron Cyclotron Resonance Plasma Using Nitrogen Gas in the Mirror Magnetic Field
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概要
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An electron cyclotron resonance (ECR) plasma with a low electron temperature ($< 2$ eV) and high electron density ($\sim 10^{12}$ cm-3) was realized in a mirror magnetic field for Ar/N2 or N2 gas. It was found based on the particle and power balance that the decrease in the electron temperature was due to the magnetic-mirror confinement depending on the collision cross section between electrons and neutral particles. The experimental and numerical results suggest that diluting with N2 gas, whose excitation cross section peaks at a low electron energy of about 2 eV, in the mirror magnetic field enables us to reduce the electron temperature efficiently in an ECR plasma.
- Publication Office, Japanese Journal of Applied Physics, Faculty of Science, University of Tokyoの論文
- 2001-04-15
著者
-
石井 信雄
東京エレクトロン
-
Kawai Yoshinobu
Interdiciplinary Gradate School Of Engineering Sciences Kyushu University
-
Itagaki Naho
Interdisciplinary Graduate School Of Engineering Sciences Kyushu University
-
Ueda Yoko
Interdiciplinary Gradate School of Engineering Sciences, Kyushu University
-
Ishii Nobuo
Tokyo Electron Co. Ltd.
-
Ueda Yoko
Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University, Kasuga-koen 6-1, Kasuga, Fukuoka 816-8580, Japan
-
Itagaki Naho
Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University, Kasuga-koen 6-1, Kasuga, Fukuoka 816-8580, Japan
-
Ishii Nobuo
Tokyo Electron Co., Ltd., Yodogawa, Osaka 532-0003, Japan
-
Ishii Nobuo
Corporate R&D Central Research Laboratory, Tokyo Electron Ltd. 650 Mitsuzawa, Hosaka-cho, Nirasaki, Yamanashi 407-0192, Japan
-
Ishii Nobuo
Corporate R&D Central Research Laboratory, Tokyo Electron Limited, Hosaka-cho, Nirasaki 407-01, Japan
-
Kawai Yoshinobu
Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University, Kasuga-koen 6-1, Kasuga, Fukuoka 816-8580, Japan
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