Measurement of Ion Species Utilizing Ion-Bursts in an Ar/SF_6 Mixture Plasma
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 1998-02-15
著者
-
KAWAI Yoshinobu
Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University
-
Kawai Yoshinobu
Interdiciplinary Gradate School Of Engineering Sciences Kyushu University
-
YOSHIMURA Shinji
Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University
-
Yoshimura Shinji
Interdisciplinary Graduate School Of Engineering Sciences Kyushu University
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