8" Uniform Electron Cyclotron Resonance Plasma Source Using a Circular TE_<01> Mode Microwave

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概要

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• 社団法人応用物理学会の論文
• 1993-01-15

著者

• KAWAI Yoshinobu

  Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University

• 河合 良信

  九大総理工

• Kawai Yoshinobu

  Welding Research Institute Osaka University

• Kawai Yoshinobu

  Interdiciplinary Gradate School Of Engineering Sciences Kyushu University

• TANAKA Masayoshi

  Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University

• OHSHIMA Takeshi

  Japan Atomic Energy Research Institute

• Tanaka M

  Production Engineering Research Laboratory Hitachi Ltd.

• Tanaka M

  Manufacturing Development Center Mitsubishi Electric Corporation

• Tanaka M

  Toshiba Corp. Kawasaki Jpn

• Yamaguchi Taichi

  Superconductivity Research Dept. Material Research Lab. Fujikura Ltd. :(present Address)quality Assu

• Tanaka M

  Institute Of Multidisciplinary Research For Advanced Materials Tohoku University

• 河合 良信

  Kyushu Univ. Fukuoka

• Yamaguchi T

  Toshiba Corp. Yokohama Jpn

• Koga Ryuji

  Plant And Machinery Division Nippon Steel Corporation

• Ohshima T

  Oki Electric Ind. Co. Ltd. Tokyo Jpn

• HIROTSU Nobuyoshi

  Plant and Machinery Division, Nippon Steel Corporation

• YAMAGUCHI Toru

  Plant and Machinery Division, Nippon Steel Corporation

• HIDAKA Ryota

  Plant and Machinery Division, Nippon Steel Corporation

• OHSHIMA Takaharu

  Plant and Machinery Division, Nippon Steel Corporation

• Taino M

  Institute Of Multidisciplinary Research For Advanced Materials Tohoku University

• Hidaka Ryota

  Plant And Machinery Division Nippon Steel Corporation

• Hirotsu Nobuyoshi

  Plant And Machinery Division Nippon Steel Corporation

• TANAKA Masayoshi

  Interdisciplinary Graduate School of Engineering Science, Kyushu University, Kasuga 816-8580, Japan

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