Characteristics of Very High Frequency Plasma Produced Using a Ladder-Shaped Electrode

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概要

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• 社団法人応用物理学会の論文
• 1999-07-30

著者

• KAWAI Yoshinobu

  Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University

• 河合 良信

  九大総理工

• Kawai Yoshinobu

  Welding Research Institute Osaka University

• Kawai Yoshinobu

  Interdisciplinary Graduate School Of Engineering Sciences Kyushu University

• Kawai Yasunobu

  Interdisciplinary Graduate School Of Engineering Sciences Kyushu University

• Kawai Yoshinobu

  Interdiciplinary Gradate School Of Engineering Sciences Kyushu University

• Kawai Y

  Welding Research Institute Osaka University

• Kawai Y

  Kyushu Univ. Fukuoka Jpn

• TAKEUCHI Yoshiaki

  Nagasaki Research & Development Center, Mitsubishi Heavy Industries Ltd.

• MASHIMA Hiroshi

  Nagasaki Research & Development Center, Mitsubishi Heavy Industries Ltd.

• MURATA Masayoshi

  Nagasaki Research & Devepolment Center, Mitsubishi Heavy Industries Ltd.

• Yamakoshi Hideo

  Advanced Technology Research Center Mitsubishi Heavy Industries Ltd.

• Horioka Tatsuji

  Power Systems Engineering Center, Power Systems Headquarters, Mitsubishi Heavy Industries Ltd.

• Yamane Tsukasa

  Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University

• Kawai Y

  Mitsubishi Materials Silicon Corporation

• Takeuchi Yasunori

  Kek National Laboratory For High Energy Physics

• 河合 良信

  Kyushu Univ. Fukuoka

• Takeuchi Y

  Institute For Materials Research Tohoku University

• Murata M

  Nagasaki Research & Devepolment Center Mitsubishi Heavy Industries Ltd.

• Murata Makoto

  Division Of Biological Sciences Graduate School Of Science Hokkaido University

• Yamane Tsukasa

  Interdisciplinary Graduate School Of Engineering Sciences Kyushu University

• Mashima Hiroshi

  Nagasaki Research & Devepolment Center Mitsubishi Heavy Industries Ltd.

• Horioka Tatsuji

  Power Systems Engineering Center Power Systems Headquarters Mitsubishi Heavy Industries Ltd.

• Yamakoshi Hideo

  Advanced Technology Research Center Mitsubishi Heavy Industries Ltd

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