Effect of Electromagnetic Waves Propagating in the Periphery of Electron Cyclotron Resonance Plasma on the Uniformity
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 社団法人応用物理学会の論文
- 1999-07-30
著者
-
KAWAI Yoshinobu
Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University
-
河合 良信
九大総理工
-
Kawai Yoshinobu
Welding Research Institute Osaka University
-
Kawai Yasunobu
Interdisciplinary Graduate School Of Engineering Sciences Kyushu University
-
Kawai Yoshinobu
Interdiciplinary Gradate School Of Engineering Sciences Kyushu University
-
Kawai Y
Welding Research Institute Osaka University
-
Kawai Y
Kyushu Univ. Fukuoka Jpn
-
Ueda Yoko
Interdiciplinary Gradate School of Engineering Sciences, Kyushu University
-
Muta Hiroshi
Department of Electronics and Control Engineering, Kitakyushu National College of Technology
-
Kawai Y
Mitsubishi Materials Silicon Corporation
-
河合 良信
Kyushu Univ. Fukuoka
-
Ueda Y
Asahi Chemical Industry Co. Ltd.
-
Ueda Y
Graduate School Of Engineering Osaka University
-
Muta H
Department Of Electronics And Control Engineering Kitakyushu National College Of Technology
-
Muta Hiroshi
Department Of Electronics And Control Engineering Kitakyushu National College Of Technology
関連論文
- 25pRE-4 直線プラズマにおけるメゾスケール構造の観測(プラズマ基礎(乱流・基礎プラズマ),領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
- 22aRS-3 直線プラズマにおけるドリフト波乱流 : 時空間構造の観測(プラズマ基礎,領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核談合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
- 22aRS-5 直線プラズマにおけるドリフト波乱流 : 実験と理論の比較(プラズマ基礎,領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核談合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
- 30a-TH-10 リチウムビームプローブによるヘリオトロンEの周辺プラズマ計測
- 25aQB-8 ECRプラズマにおける波動の構造と非線形相互作用の測定(II)(25aQB プラズマ基礎(非線形現象・乱流),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 28aUC-6 ECRプラズマにおける波動の構造と非線形相互作用の測定(28aUC プラズマ基礎(非線形現象・乱流),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 21pWG-9 直線ECRプラズマ中のマイクロ波変調による波動励起実験(プラズマ基礎(乱流),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 25pRE-6 直線ECRプラズマにおけるドリフト不安定性とフルート不安定性の競合的振る舞い・II(プラズマ基礎(乱流・基礎プラズマ),領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
- 22aRS-2 直線ECRプラズマにおけるドリフト不安定性とフルート不安定性の競合的振る舞い(プラズマ基礎,領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核談合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
- 19aQC-5 直線ECRプラズマにおける衝突ドリフト波不安定性とフルート波不安定性の共存現象(プラズマ基礎(非線形現象(自己組織化,カオス,乱流等)),領域2,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)
- Measurement of Edge Density Profiles and Fluctuations in the H-Mode Discharge of the Compact Helical System (CHS) with a Thermal Neutral Lithium Beam Probe
- 27aC26P 負イオンプラズマ中のイオン音波slowモードの支配的伝播(プラズマ基礎・応用)
- 27pA03P 3成分イオンプラズマ中のイオン音波伝播特性(プラズマ基礎・応用)
- 27pSP-9 直線円筒形ECRプラズマにおけるゾーナルフロー型振動の観測(27pSP プラズマ基礎(波動・加熱・不安定性・輸送・閉じ込め特性・非線形現象・プラズマ応用),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 25pRE-3 直線プラズマにおける二時刻二点相関法による乱流の二次元構造(プラズマ基礎(乱流・基礎プラズマ),領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
- 19aQC-1 高密度直線プラズマ中のドリフト波乱流実験V : 新装置実験の概要(プラズマ基礎(非線形現象(自己組織化,カオス,乱流等)),領域2,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)
- 19aQC-2 高密度直線プラズマ中のドリフト波乱流実験VI : 可動式マルチ電極プローブ測定(プラズマ基礎(非線形現象(自己組織化,カオス,乱流等)),領域2,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)
- 19aQC-3 高密度直線プラズマ中のドリフト波乱流実験VII : 一体型マルチ電極プローブ測定(プラズマ基礎(非線形現象(自己組織化,カオス,乱流等)),領域2,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)
- 19aQC-4 高密度直線プラズマ中のドリフト波乱流実験VIII : 揺動の非線形解析(プラズマ基礎(非線形現象(自己組織化,カオス,乱流等)),領域2,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)
- 25aQB-7 直線ECRプラズマ中のドリフト波励起実験III(25aQB プラズマ基礎(非線形現象・乱流),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 25aQB-9 高密度直線プラズマ中のドリフト波乱流実験IV : 新装置実験(25aQB プラズマ基礎(非線形現象・乱流),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 28aUC-3 高密度直線プラズマ中のドリフト波乱流実験II : プラズマ流と中性粒子(28aUC プラズマ基礎(非線形現象・乱流),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 28aUC-4 高密度直線プラズマ中のドリフト波乱流実験III : 静電搖動(28aUC プラズマ基礎(非線形現象・乱流),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 28aUC-5 直線ECRプラズマ中のドリフト波励起実験II(28aUC プラズマ基礎(非線形現象・乱流),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 28aUC-2 高密度直線プラズマ中のドリフト波乱流実験I : 実験装置とプラズマ生成(28aUC プラズマ基礎(非線形現象・乱流),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 21pWG-10 直線ECRプラズマ中のドリフト波励起実験(プラズマ基礎(乱流),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 27pA38P 915MHz ECRプラズマにおける電子温度制御(プラズマ基礎・応用)
- 反応性ガスプラズマのパラメータ測定
- Reconstruction of Edge-Plasma Density Profiles by Neutral Beam Probe Spectroscopy
- 14pQA-6 微粒子プラズマ中における二次元 Coulomb クラスタの融解転移(プラズマ基礎 : 強結合, 非中性, 波動, 加熱, 領域 2)
- 26aB09P SiH_4 ECRプラズマにおける電子温度制御(プラズマ基礎・応用)
- 26aB08P ECRプラズマの大口径化と低電子温度化(プラズマ基礎・応用)
- 21pYA-2 電離波動におけるカオス現象に関しての実験研究
- 31aZL-11 負イオンプラズマ中の振動型衝撃波に関する実験
- 29pA14P 915MHz ECRプラズマにおける電子温度のパワー吸収分布依存性(プラズマ基礎・応用)
- 29pA06P Ar/N_2ECRプラズマ中のイオン温度特性解析(プラズマ基礎・応用)
- 29pA05P N_2/ArプラズマおよびO_2/Arプラズマ中でのイオン温度測定(プラズマ基礎・応用)
- 27aC25P 境界があるイオン-イオン不安定性におけるイオンの振る舞い(プラズマ基礎・応用)
- 27aC24P 磁化プラズマにおける回転するスパイラル構造(プラズマ基礎・応用)
- 27pA36P 大口径ECRプラズマ中の揺動の振る舞い(プラズマ基礎・応用)
- 27pA35P 酸素ECRプラズマ中の負イオン密度分布(プラズマ基礎・応用)
- 27pA29P イオン-イオン不安定系のカオスへの発展(プラズマ基礎・応用)
- 27p-C-4 イオンシース不安定性におけるシース構造(II)
- 7a-YN-7 イオンシース不安定性におけるシース構造
- 27pXG-6 イオン-イオン不安定性におけるカオスの励起と境界条件
- 25pYG-12 イオン-イオン不安定性のカオス的振る舞いに関する実験的研究
- 28p-C-2 ECRプラズマ中のイオンおよび中性原子温度の測定
- 5a-F6-10 リジターノコイルによる大直径プラズマの生成III
- 27p-L-7 リジターノコイルから放出されるECRプラズマ中の不純物II
- 1a-J-13 径方向電界による不安定波の励起
- 1a-J-12 両極性電位のによるフルート不安定性の制御
- 28p-Y1-11 リジターノコイルによる大直径プラズマの生成
- 27pA03P イオン音波を用いた反応性ガスECRプラズマ中の負イオン密度測定(プラズマ基礎・応用)
- 24aD-7 Ar/SF_6プラズマ中のイオン音波伝播
- 25aYG-11 イオンバーストを用いた多種イオンプラズマ測定
- ArF Excimer Laser Projection Lithography Using Partially Achromatized Lens System : Lithography Technology
- ArF Excimer Laser Projection Lithography Using Partially Achromatized Lens System
- Behavior of Time-Resolved Ion Energy Distribution Functions during Ion-Ion Instability
- Suppression of Ion-Ion Instabilities Excited by an Obliquely Injected Ion Beam
- 29p-ZE-13 電子ビーム・プラズマ系での不安定モード(プラズマ物理・核融合)
- 27p-G-6 外場によるイオン-イオン不安定性の抑制とイオンのエネルギー分布関数の変化
- 2p-R-5 イオン-イオン不安定性の外場による抑制とイオンのエネルギー分布関数
- 4p-H-9 ポンプ波を印加したときのイオン-イオン不安定性 II
- 28pXG-14 負イオンプラズマ中におけるイオン波の反射実験
- 27pA04P 2種類の負イオンを含む多成分系プラズマ中のイオン音波(プラズマ基礎・応用)
- 21pWG-5 ECRプラズマにおける揺動のカオス制御(プラズマ基礎(強結合/カオス),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- Production of a Large-Diameter Uniform ECR Plasma with a Lisitano Coil : Nuclear Science, Plasmas and Electric Discharges
- Impurity Ions in a Plasma Produced by Electron Cyclotron Resonance Heating : Nuclear Science, Plasmas and Electric Discharges
- Flute Stabilization of a Mirror-Confined Plasma by a Positive Ambipolar Potential
- 26p-C-10 可視光トモグラフィーによる密度揺動計測
- 27p-L-8 径方向電界による不安定波の励起III
- 28a-Q-12 マイクロ波凹レンズを用いた大口径高密度プラズマの生成
- Effect of Electromagnetic Waves Propagating in the Periphery of Electron Cyclotron Resonance Plasma on the Uniformity
- Three-Dimensional Simulation of Microwave Propagation in an Electron Cyclotron Resonance Plasma
- One-Dimensional Simulation of Microwave Propagation in Electron Cyclotron Resonance Plasmas
- Characteristics of Very High Frequency Plasma Produced with Ladder-Shaped Electrode at High Pressure
- Characteristics of Very-High-Frequency-Excited SiH_4 Plasmas using a Ladder-Shaped Electrode
- Characteristics of Very High Frequency Plasma Produced Using a Ladder-Shaped Electrode
- Production of Inductively Coupled RF Plasma Using a Ladder-Shaped Antenne
- Dynamic Formation of Excited Helicon Wave Structure and Estimation of Wave Energy Flux Distribution
- Dynamic Behavior of Helicon Wave Produced Plasma
- Suppression of Ion-Ion Instabilities by an External Field
- Observations of Subharmonic Waves in an Electron Beam Plasma System
- Electron Heating and Control of RF-Produced Plasma Parameters Excited by a Planar, Spiral Antenna
- Effects of Axial Magnetic Field and Faraday Shield on Characteristics of RF Produced Plasma Using Spiral Antenna
- Waveform of Linear Ion-Acoustic Waves Excited by a Mesh Grid
- Reflection of Ion Waves from a Bipolar Electrode in an Ion Beam-Plasma System
- Chaotic Behavior of Current-Carrying Plasmas in External Periodic Oscillations
- ECR Plasma CVD Using a Slotted Lisitano Coil
- Comments on the Reflection/Excitation Properties of a Bipolar Potential Structure Used in Ion Wave Experiments : Nuclear Sciences, Plasmas, and Electric Discharges
- Measurement of Ion Species Utilizing Ion-Bursts in an Ar/SF_6 Mixture Plasma
- Estimation of Electric Fields from Magnetic Field Distributions and an Application to Helicon Wave
- Skin Depth of Electromagnetic Waves in Plasma with Magnetic Field and Collisions
- Propagation Characteristics of Ion Acoustic Waves in an Ar/SF_6 Plasma
- Production Mechanism of a Large-Diameter Uniform Electron Cyclotron Resonance Plasma Generated by a Circular TE_ Mode Microwave
- 8" Uniform Electron Cyclotron Resonance Plasma Source Using a Circular TE_ Mode Microwave
- Excitation Characteristics of Ion Waves in a Negative Ion Plasma
- Parameters Measurement of ECR Silane Plasma
- Production of Low-Electron-Temperature Electron Cyclotron Resonance Plasma Using Nitrogen Gas in the Mirror Magnetic Field
- Observation of Synchronization of Two Chaotic Oscillators in Plasma