ECR Plasma CVD Using a Slotted Lisitano Coil

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概要

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• 社団法人応用物理学会の論文
• 1990-11-20

著者

• KAWAI Yoshinobu

  Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University

• 河合 良信

  九大総理工

• Komori Akio

  Interdisciplinary Graduate School Of Engineering Sciences Kyushu University

• Kawai Yoshinobu

  Welding Research Institute Osaka University

• Kawai Yoshinobu

  Interdiciplinary Gradate School Of Engineering Sciences Kyushu University

• Komori A

  National Inst. Fusion Sciences Nagoya‐shi Jpn

• Kishimoto K

  Nec Corp. Kanagawa Jpn

• IKEDA Hidehiko

  Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University

• KISHIMOTO Kengo

  Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University

• MURATA Masayoshi

  Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University

• UCHIDA Satoshi

  Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University

• 河合 良信

  Kyushu Univ. Fukuoka

• Murata M

  Nagasaki Research & Devepolment Center Mitsubishi Heavy Industries Ltd.

• Murata Makoto

  Division Of Biological Sciences Graduate School Of Science Hokkaido University

• 小森 章夫

  核融合科学研究所

• Ikeda Hidehiko

  Interdisciplinary Graduate School Of Engineering Sciences Kyushu University

• Uchida S

  Nagasaki Resarch & Development Center Mitsubishi Heavy Industries Ltd.:(present Address) Nagasak

• KOMORI Akio

  Interdisciplinary Graduate School of Engineering Science,Kyushu University

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