28p-C-2 ECRプラズマ中のイオンおよび中性原子温度の測定

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1998-09-05

著者

• 篠原 俊二郎

  九大総理工

• 河合 良信

  九大総理工

• 米須 章

  琉球大工

• 上田 洋子

  九大総理工

• 米須 章

  琉球大学

• Kawai Yoshinobu

  Welding Research Institute Osaka University

• Kawai Yasunobu

  Interdisciplinary Graduate School Of Engineering Sciences Kyushu University

• Kawai Yoshinobu

  Interdiciplinary Gradate School Of Engineering Sciences Kyushu University

• Kawai Y

  Welding Research Institute Osaka University

• Kawai Y

  Kyushu Univ. Fukuoka Jpn

• Kawai Y

  Mitsubishi Materials Silicon Corporation

• 河合 良信

  Kyushu Univ. Fukuoka

• 米須 章

  琉球大

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