25pYG-3 ヘリコン波プラズマ源における放電領域制御と励起波動特性

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1999-09-03

著者

• 篠原 俊二郎

  九大総理工

• 篠原 俊二朗

  九大 大学院総合理工学研究院

• 米倉 健二

  九大総理工

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