Estimate of the Negative-Ion Density in O_2/Ar ECR Plasma Utilizing Ion Acoustic Waves : Fluids, Plasmas, and Electric Discharges
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概要
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An attempt to measure the negative ion density in an O_2/Ar electron cyclotron resonance (ECR) plasma is made by means of the propagation of ion acoustic waves (IAWs) (fast mode). IAWS are launched along magnetic fields using a wire antenna to which positive pulse voltages are applied. The IAWS are detected as a fluctuation of the ion saturation current flowing into a plane Langmuir probe. The change of the phase velocity of IAWS is observed when the gas mixture ratio is varied. It is found that the density ratio of negative ions to positive ions, α, is less than 0.3, and has an optimum value at the gas mixture ratio of 15%.
- 社団法人日本物理学会の論文
- 2001-03-15
著者
-
河合 良信
九大総理工
-
Kawai Yoshinobu
Welding Research Institute Osaka University
-
Kawai Yasunobu
Interdisciplinary Graduate School Of Engineering Sciences Kyushu University
-
Kawai Yoshinobu
Interdiciplinary Gradate School Of Engineering Sciences Kyushu University
-
Kawai Y
Welding Research Institute Osaka University
-
Kawai Y
Kyushu Univ. Fukuoka Jpn
-
KAWAI Yoshinobu
Department of High Energy Engineering Science,Interdisciplinary Graduate School of Engineering Scien
-
Kawai Y
Mitsubishi Materials Silicon Corporation
-
河合 良信
Kyushu Univ. Fukuoka
-
Kawai Yoshinobu
Department Of Advanced Energy Engineering Sciences Interdisciplinary Graduate School Of Engineering
-
SHINDO Masako
Department of Advanced Energy Engineering Science, Interdisciplinary Graduate School of Engineering
-
Shindo Masako
Department Of Advanced Energy Engineering Science Interdisciplinary Graduate School Of Engineering S
-
Kawai Yoshinobu
Department of Advanced Energy Engineering Science,
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