Overdense Plasma Production Using Electron Cyclotron Waves
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概要
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The density limit in ECR plasma production is overcome using electron cyclotronwaves. The plasma of 3 X 10" cm-' density is achieved by parallel injection of circu-tardy polarized microwaves with a frequency 2.45 GHz, corresponding to a 400 timeshigher density than ordinary mode cutoff. It is found that the plasma is produced inthe high field side region between the incident position and the ECR point, and this isdue to the generation of high energy electrons and the Doppler-shifted cyclotronresonance.[ECR, overdense plasma, electron cyclotron wave, plasma production, wave pro- ]l pagationl
- 社団法人日本物理学会の論文
- 1991-05-15
著者
-
河合 良信
九大総理工
-
Komori Akio
Department Of High Energy Engineering Science Kyushu University Kasuga
-
Komori Akio
Interdisciplinary Graduate School Of Engineering Sciences Kyushu University
-
Kawai Yoshinobu
Welding Research Institute Osaka University
-
HIGASHI Seiichiro
Seiko Epson Corporation, Technology Platform Research Center
-
Komori A
National Inst. Fusion Sciences Nagoya‐shi Jpn
-
Komori Akio
Department Of Electronic Engineering Tohoku University
-
KAWAI Yoshinobu
Department of High Energy Engineering Science,Interdisciplinary Graduate School of Engineering Scien
-
Tanaka Masayoshi
Department Of Frontier Materials Graduate School Of Engineering Nagoya Institute Of Technology
-
HIGASHI Seiichiro
Department of Semiconductor Electronics and Integration Science, Graduate School of Advanced Science
-
原田 信洋
Ube Industries Ltd.
-
NISHIMOTO Ryuji
Department of High Energy Engineering Science,Interdisciplinary Graduate School of Engineering Scien
-
HARADA Nobuhiro
Ube Industries Ltd.
-
OHI Takeshi
Central Research Laboratory,Mitsubishi Electric Corporation
-
原田 信洋
九大総理工
-
河合 良信
Kyushu Univ. Fukuoka
-
Kawai Yoshinobu
Department Of Advanced Energy Engineering Sciences Interdisciplinary Graduate School Of Engineering
-
Tanaka Masayoshi
Department Of Clinical Technology Kobe Tokiwa College
-
Ohi Takeshi
Central Research Laboratory Mitsubishi Electric Corporation
-
小森 章夫
核融合科学研究所
-
西本 竜樹
Department Of High Energy Engineering Science Interdisciplinary Graduate School Of Engineering Scien
-
Nishimoto Ryuji
Department Of High Energy Engineering Science Interdisciplinary Graduate School Of Engineering Scien
-
Higashi Seiichiro
Department Of Semiconductor Electronics And Integration Science Graduate School Of Advanced Sciences
-
Higashi S
Seiko Epson Corporation Technology Platform Research Center
-
Tanaka Masayoshi
Department Of Chemical Science & Technology Faculty Of Engineering Kyushu University
-
Higashi Seiichiro
Department of Electrical Engineering, Graduate School of Advanced Sciences of Matter, Hiroshima University, 1-3-1 Kagamiyama, Higashi-Hiroshima 739-8530, Japan
-
Tanaka Masayoshi
Department of Advanced Energy Engineering Science, Kyushu University, Kasuga, Fukuoka 816-8580, Japan
-
Kawai Yoshinobu
Department of Advanced Energy Engineering Science,
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