Temperature-Measurement System Using Optical Fiber-Type Low-Coherence Interferometry for MultiLayered Substrate
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概要
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- Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physicsの論文
- 2004-11-15
著者
-
石井 信雄
東京エレクトロン
-
石井 信雄
東エレ
-
伊藤 昌文
名城大学理工学部
-
TAKEDA Keigo
Faculty of System Eng., Wakayama University
-
TOMEKAWA Yutaka
Faculty of System Eng., Wakayama University
-
SHIINA Tatsuo
Faculty of System Eng., Wakayama University
-
ITO Masafumi
Faculty of System Eng., Wakayama University
-
OKAMURA Yasuyuki
Faculty of System Eng., Wakayama University
-
ISHII Nobuo
Tokyo Electron Ltd.
-
Shiina Tatsuo
Faculty Of System Eng. Wakayama University
-
Ishii Nobuo
Tokyo Electron Co. Ltd.
-
Takeda Keigo
Faculty Of System Eng. Wakayama University
-
Okamura Yasuyuki
Faculty Of Engineering Science Osaka University
-
Okamura Yasuyuki
Faculty Of System Eng. Wakayama University
-
Ito Masafumi
Faculty Of System Eng. Wakayama University
-
Tomekawa Yutaka
Faculty Of System Eng. Wakayama University
-
Ito Masafumi
Faculty of Science and Technology, Meijo University, Nagoya 468-8502, Japan
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