Temperature-Measurement System Using Optical Fiber-Type Low-Coherence Interferometry for MultiLayered Substrate

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概要

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• Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physicsの論文
• 2004-11-15

著者

• 石井 信雄

  東京エレクトロン

• 石井 信雄

  東エレ

• 伊藤 昌文

  名城大学理工学部

• TAKEDA Keigo

  Faculty of System Eng., Wakayama University

• TOMEKAWA Yutaka

  Faculty of System Eng., Wakayama University

• SHIINA Tatsuo

  Faculty of System Eng., Wakayama University

• ITO Masafumi

  Faculty of System Eng., Wakayama University

• OKAMURA Yasuyuki

  Faculty of System Eng., Wakayama University

• ISHII Nobuo

  Tokyo Electron Ltd.

• Shiina Tatsuo

  Faculty Of System Eng. Wakayama University

• Ishii Nobuo

  Tokyo Electron Co. Ltd.

• Takeda Keigo

  Faculty Of System Eng. Wakayama University

• Okamura Yasuyuki

  Faculty Of Engineering Science Osaka University

• Okamura Yasuyuki

  Faculty Of System Eng. Wakayama University

• Ito Masafumi

  Faculty Of System Eng. Wakayama University

• Tomekawa Yutaka

  Faculty Of System Eng. Wakayama University

• Ito Masafumi

  Faculty of Science and Technology, Meijo University, Nagoya 468-8502, Japan

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