ラジアルラインスロットアンテナを用いたプラズマエッチング装置
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概要
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近年、均一・高密度プラズマの大口径化のために、プラズマを用いたエッチング装置に平面アンテナを用いる方法が有力である。これまで、著者らはEC(Electron Cyclotron Resonance)プラズマエッチング用平面アンテナの試作を行い、その特性を確かめてきたが、今回新たに磁界の不要なプラズマの励起法として、表面波(Surface Wave coupled Plasma;SWP)を用いたプラズマエッチング装置について、その検討を行った。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-09-05
著者
-
安藤 真
東京工業大学 電気電子工学専攻
-
高橋 応明
武蔵工業大学電子通信工学科
-
安藤 真
東京工業大学
-
山本 哲也
山形大学
-
石井 信雄
東京エレクトロン(株)
-
後藤 尚久
東京工業大学工学部電気電子工学科
-
石井 信雄
東京エレクトロン
-
堀池 靖浩
物質･材料研究機構
-
石井 信雄
東エレ
-
山本 哲也
東京工業大学
-
堀池 靖浩
東洋大学工学部
-
山本 達也
東京工業大学 工学部 電気電子工学科
-
後藤 尚久
東京工業大学
-
Horiike Yasuhiro
Faculty Of Engineering Toyo University
-
Horiike Yasuhiro
National Institute For Materials Science
-
Horiike Yasuhiro
Research Center For Integrated Systems Hiroshima University:(present Address)department Of Electrica
-
Horiike Yasuhiro
Faculty Of Engineering Hiroshima University
-
Horiike Yasuhiro
Department Of Electrical Engineering Toyo University
-
高橋 応明
武蔵工業大学 工学部 電子通信工学科
-
高橋 応明
武蔵工業大学 工学部
-
堀池 靖浩
広島大工
-
Ishii Nobuo
Corporate R&D Central Research Laboratory, Tokyo Electron Ltd. 650 Mitsuzawa, Hosaka-cho, Nirasaki, Yamanashi 407-0192, Japan
-
Ishii Nobuo
Corporate R&D Central Research Laboratory, Tokyo Electron Limited, Hosaka-cho, Nirasaki 407-01, Japan
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