CMOSイメージセンサ技術を用いたファブリペロー干渉計による非標識バイオセンサ(結晶成長、評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
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概要
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本研究では,超高感度に表面応力の検出が可能なファブリペロー型MEMSバイオセンサとCMOSイメージセンサ技術を応用した信号処理回路の集積化プロセス技術の開発を行った.提案するセンサは,ファブリペロー干渉を利用し,膜の変位を透過率の変化に変換し,フォトダイオードで信号を読み出すことにより,非標識にタンパク質を検出することができる.センサの理論的最少検出限界は-1μN/mで,これは従来のピエゾ検出方式を二ケタ上回る.2次元にアレイ化されたMEMSセンサからの微小な光電流は集積化されたソースフォロワ回路と選択回路によって信号処理することで読み出される.製作したMOS回路およびMEMSセンサの動作を確認し,集積化プロセス技術の確立に成功した.この集積化MEMSセンサアレイは複数のガンのスクリーニング検査に適用することが可能である.
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 2013-05-09
著者
-
石田 誠
豊橋技術科学大学
-
澤田 和明
豊橋技術科学大学
-
高橋 一浩
豊橋技術科学大学
-
二川 雅登
豊橋技術科学大学
-
太斎 文博
豊橋技術科学大学
-
大山 泰生
豊橋技術科学大学
-
小澤 遼
豊橋技術科学大学
-
太齋 文博
豊橋技術科学大学電気・電子情報工学系
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