面発光レーザの横方向に集積したスローライト光変調器の動作特性(半導体レーザ関連技術,及び一般)
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概要
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面発光レーザ(VCSEL)とスローライト光変調器の横方向集積化とその動作特性について報告する.VCSELからスローライト光変調器への光結合は,VCSELからの光の染み出しを制御することにより実現した.結合効率は従来のVCSELと同程度の50%以上の高い効率が得られる.本稿では,VCSELとスローライト光変調器の横方向集積デバイスの動作特性について示す.素子長20μmの超小型スローライト光変調器により,変調電圧1.2V以下で5dB以上の消光比が得られ,低消費電力かつ超高速外部光変調の可能性を示した.また,横方向光結合を利用することにより,VCSELに新しい機能性を集積することが可能となる.
- 2011-12-09
著者
-
小山 二三夫
東京工業大学精密工学研究所マイクロシステム研究センター
-
小山 二三夫
東京工業大学
-
島田 敏和
東京工業大学精密工学研究所
-
島田 敏和
東京工業大学精密工学研究所マイクロシステム研究センター
-
小山 二三夫
東京工業大学 精密工学研究所
-
島田 敏和
東京工業大学 精密工学研究所
-
島田 敏和
東工大精研
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