C-4-19 ICPエッチングによる低しきい値半導体/空気DBR短共振器レーザ
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-08-16
著者
-
小山 二三夫
東京工業大学精密工学研究所マイクロシステム研究センター
-
伊賀 健一
東京工業大学
-
馬場 俊彦
横浜国立大学工学研究院
-
馬場 俊彦
横浜国大・工
-
坂井 篤
横浜国立大学大学院工学研究院
-
有賀 麻衣子
古河電工横浜研究所半導体研究センター
-
有賀 麻衣子
横浜国大・工
-
関戸 雄志
横浜国大・工
-
川津 康朗
横浜国大・工
-
坂井 篤
横浜国大・工
-
松谷 晃宏
東工大・精研
-
小山 二三夫
東工大・精研
-
伊賀 健一
東工大・精研
-
馬場 俊彦
横国大院工
-
馬場 俊彦
横浜国立大学大学院工学研究院:jst-crest
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