リング型バッファチェインとリングオシレータの共有構造を用いた完全デジタル型PMOS/NMOSプロセスばらつきモニタ回路(アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
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概要
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本論文ではリング型バッファチェインとリングオシレータを共有した構造を持つオンチッププロセスばらつきモニタ回路を提案する。提案回路ではリング型バッファモード時にリング内を伝搬するパルスの幅がリングを構成するバッファの立ち上がりおよび立ち下がり遅延時間に依存して変化する性質を利用し、そのパルスが消失するまでの回転数、およびパルス消失後のバッファ出力の極性をモニタすることでバッファの立ち上がり・立ち下がり伝搬遅延時間の差を検出し、さらにオシレータモード時の発振周期から、バッファの立ち上がり・立ち下がり伝搬遅延時間の和を検出することで単一リング回路を用いたPMOS/NMOSプロセスばらつきのモニタを実現する。提案回路では、従来の独立したリング構造を持つ回路と比較して約40%の面積を削減する事ができる。65nm CMOSプロセスを用いて提案回路の試作を行い、2つの異なるロットに対して行ったばらつき測定結果により提案回路の妥当性を示す。
- 2011-07-14
著者
-
浅田 邦博
東京大学工学系研究科
-
飯塚 哲也
東京大学大規模集積システム設計教育研究センター(VDEC)
-
浅田 邦博
東京大学大学院工学系研究科電子工学専攻
-
浅田 邦博
東京大学工学系研究科電子工学専攻 Vlsiセンター
-
飯塚 哲也
東京大学工学系研究科電気系工学専攻
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