集積回路内の近接型配線における3次元容量のモデル化
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概要
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集積回路において3次元配線容量を高精度に算出するためには、有限要素法などの数値計算を行う必要があるが、集積回路CADにおいては配線形状から十分な精度の容量を高速に導くモデル式が求められる。本稿では有限要素解析ツールANSYSを用いて近接型配線の配線容量を求め、従来モデルの誤差を評価し、新しいモデル式を提案する。
- 1996-09-18
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