集積回路内の配線容量の高精度なモデル化と伝送速度を最適化する配線形状

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概要

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集積回路においてバスラインなどの長距離配線のもつ容量を高精度に算出するためには、有限要素法などの数値計算を行う必要があるが、集積回路CADの実用性を考慮すると配線形状から十分な精度の容量を高速に導くモデル式が必要となる。本研究では有限要素解析の結果を元に、近接型の配線の配線容量を対地・配線間容量の比を含めて高い精度で配線容量を評価できるモデル式を提案する。また、配線間結合をもつ線路系の応答式を解析的に求め、これに新しい容量モデルを適用することで、配線の形状から得られる伝送遅延を求める。そして、これらを基に集積回路の大域配線の遅延を最適化する断面形状を提案する。
1996-09-27

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