集積回路の大域配線における誘導性要素の影響評価

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概要

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表皮効果を含む伝送線路中の誘導性要素について、その信号伝送に与える影響について定性的・定量的に考察を行なった。その結果、表皮効果については、集積回路中の信号伝送に関しては、これが発現する動作領域で自己インダクタンスの影響が支配的になることから、当面のプロセスにおいては伝送遅延を見積もる際には考慮する必要がないことが確かめられた。一方で自己インダクタンス成分の伝送遅延に与える影響はGHzを超えるような動作領域では中・長距離の伝送経路に対して非常に重要になることや、これが、配線幅や配線長の制限要素となることが確かめられた。
社団法人電子情報通信学会の論文
1998-10-22

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