電荷変調分光法・光第2次高調波発生法による有機FETの動作解析(薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・材料・評価技術及び一般)
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概要
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我々は、有機トランジスタ(OFET)の新規評価法として光第2次高調波発生法(SHG)を提案し、有機FETにおけるチャネル形成や顕微分光による素子中の電界分布計測について提案してきた。その上で、このSHG測定に時間分解分光計測と高感度冷却CCDによるイメージングを組み合わせる(TRM-SHG)ことで、チャネル中電界の過渡変化を逐次画像化できるようになり、結果としてキャリアがFET素子中を流れる様子をイメージとして捉えることに成功した。一方で、材料中へのキャリア注入は材料の光学特性を変化させるため、吸収スペクトルを詳細に検討することで注入キャリアの情報を得ることができる。この手法は電荷変調分光法(CMS)と呼ばれ、我々はキャリア注入による変調信号を画像として捉えることで、デバイス中のキャリア分布の測定などに成功した。このように、従来電気的手法で評価されてきた電子デバイスに、光学的手法を用いることで、これまで得られなかった様々な情報を得ることが可能となる。本講演では、このSHGとCMSという光学的手法を有機FETに応用することで、実際にどのような評価が可能となるか概観する。
- 2011-04-08
著者
-
間中 孝彰
東工大
-
岩本 光正
東工大
-
川島 啓
東京工業大学大学院理工学研究科
-
田中 康之
慶應義塾大学大学院理工学研究科
-
間中 孝彰
東京工業大学
-
若本 光正
東工大
-
田中 康之
東京工業大学大学院理工学研究科
-
Mori Takehiko
Faculty Of Engineering Tohoku Institute Of Technology
-
岩本 光正
東京工業大学
-
Iwamoto Mitsumasa
Tokyo Inst. Technol. Tokyo Jpn
-
Iwamoto M
Department Of Physical Electronics Tokyo Institute Of Technology
-
Iwamoto Mitsumasa
Dept. Of Phys. Elec Tokyo Tech.
-
Motoji Toshiko
Tokyo Women's Medical University
-
Mori Takehiko
Department Of Organic Materials Tokyo Institute Of Technology
-
岩本 光正
東京工業大学大学院・理工学研究科
-
Taniguchi M
Division Of Material Chemistry Faculty Of Engineering Kyoto University
-
Manaka Takaaki
Graduate School Of Science And Engineering Department Of Physical Electronics Tokyo Institute Of Tec
-
Mori T
Division Of Hematology Department Of Medicine Keio University School Of Medicine
-
田中 康之
東京工業大学 大学院理工学研究科
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