100Gビットイーサネット用25Gbps pin-PDの開発(超高速伝送・変復調・分散補償技術,超高速光信号処理技術,広帯域光増幅・WDM技術,受光デバイス,高光出力伝送技術,一般,(ECOC報告))

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概要

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• 我々は、100Gビットイーサネット用受光素子として、大受光径を有し、広帯域・高感度を兼ね備えた表面入射型pin-PDを開発した。目標とした24GHzの帯域を実現するためには、素子容量を低減すると共に、キャリアの走行時間を短縮する必要がある。今回、吸収層の薄膜化などによりキャリアの走行時間を短縮しつつ、空乏層幅を最適化することで帯域の改善を図った。また、1.3μm帯波長に対して最適化した高反射率多層反射膜により、吸収層を透過した光を反射させ再び吸収に寄与させることで高感度化を図った。素子を試作した結果、高感度0.82A/W(@1300nm)、広帯域24GHz(受光径15μmφ)、低暗電流:10pA(@-3V)という良好な特性が得られた。

• 2009-10-15

著者

• 中路 雅晴

  三菱電機(株)高周波光デバイス製作所

• 綿谷 力

  三菱電機(株)高周波光デバイス製作所

• 青柳 利隆

  三菱電機(株)高周波光デバイス製作所

• 石川 高英

  三菱電機(株)高周波光デバイス製作所

• 青柳 利隆

  三菱電機株式会社高周波光デバイス製作所

• 綿谷 力

  三菱電機株式会社高周波光デバイス製作所

• 石川 高英

  三菱電機株式会社高周波光デバイス製作所

• 竹村 亮太

  三菱電機(株)高周波光デバイス製作所

• 石川 高英

  三菱電機株式会社高周波光デバイス製作所開発部

• 石川 高英

  三菱電機

• 石川 高英

  三菱電機株式会社

• 佐久間 仁

  三菱電機(株)高周波光デバイス製作所

• 青柳 利隆

  三菱電機株式会社

• 青柳 利隆

  三菱電機(株) 光・マイクロ波デバイス開発研究所

• 石川 高英

  三菱電機株式会社 高周波光デバイス製作所

• 鈴木 大輔

  三菱電機(株)高周波光素子事業部光素子開発部

• 青柳 利隆

  三菱電機株式会社 高周波光デバイス製作所

• 鈴木 大輔

  三菱電機(株)高周波光デバイス製作所

• 柳楽 崇

  三菱電機(株)高周波光デバイス製作所

• 中路 雅晴

  三菱電機株式会社

• 石川 高英

  三菱電機(株)情報電子研究所光・電波機器開発室

• 佐久間 仁

  三菱電機株式会社高周波光デバイス製作所

• 鈴木 大輔

  三菱電機株式会社高周波光デバイス製作所

• 鈴木 大輔

  三菱電機(株)情報技術総合研究所

• 青柳 利隆

  三菱電機(株)高周波デバイス製作所開発部

• 竹村 亮太

  三菱電機株式会社高周波光デバイス製作所

• 鈴木 大輔

  三菱電機(株) 高周波光デバイス製作所

• 中路 雅晴

  三菱電機(株) 高周波光デバイス製作所

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