半絶縁性 InP 窓層/多層反射膜を有するプレーナ構造高速 InGaAs-PD
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概要
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10Gbps対応の受光素子として、半絶縁性InP窓層および多層反射膜を有する表面人射プレーナ構造InGaAs-PDを試作検討した。受光感度向上を目的としたλ/4膜厚多層反射膜(計約5μm)と容量低減を目的とした半絶縁性InP窓層(2μm)を導入する事により、λ=1.3μと1.55μに対して約90%の高い量子効率と20GHz (-3dB,@5V)の広帯域が両立できることを示した。また暗電流は10pA(@5V)と小さく、さらに175℃,1100時間通電で劣化無しという高い信頼性を確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-09-28
著者
-
石村 栄太郎
三菱電機(株)高周波光デバイス製作所
-
青柳 利隆
三菱電機(株)高周波光デバイス製作所
-
竹見 政義
三菱電機株式会社高周波光デバイス製作所
-
松本 啓資
三菱電機(株)高周波光デバイス製作所
-
瀧口 透
三菱電機株式会社高周波光デバイス製作所
-
瀧口 透
三菱電機(株)高周波光素子事業統括部
-
松本 啓資
三菱電機株式会社高周波光デバイス製作所
-
木村 達也
三菱電機(株)光・マイクロ波デバイス開発研究所
-
青柳 利隆
三菱電機(株) 光・マイクロ波デバイス開発研究所
-
松本 啓資
財団法人 光産業技術振興協会:三菱電機株式会社
-
松本 啓資
三菱電機株式会社
-
船場 真司
三菱電機(株) 光・マイクロ波デバイス開発研究所
-
竹見 政羲
三菱電機(株) 光・マイクロ波デバイス開発研究所
-
長濱 弘毅
三菱電機(株) 光・マイクロ波デバイス開発研究所
-
木村 達也
三菱電機
-
瀧口 透
三菱電機
-
木村 達也
三菱電機(株) 光・マイクロ波デバイス開発研究所
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