1-06-04 Y面LiNbO_3基板上<100>エピタキシャルZnO膜の形成(弾性表面波デバイス)
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概要
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A <100> orientated poly crystal ZnO Film is deposited on many kinds of substrates. However, an epitaxial ZnO film is deposited on only specific substrates, because they depend greatly on the lattice constant of the substrate. As an epitaxial ZnO film with c-axis orientated horizontally, only <110> orientated epitaxial ZnO film was deposited on a pre-treated Y-plate (010) LiNbO_3 substrate for the first time. A <001> orientated poly-crystal ZnO film was also deposited this substrate without the pre-treatment. Thus, two kinds of orientation directions could be controlled by the pre-treatment. Moreover their applications to the shear bulk wave transducer and surface acoustic wave devices are discussed.
- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
- 2007-11-14
著者
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