超音波顕微鏡による圧電セラミック基板の縦波音速測定とその応用
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概要
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セラミックフィルタやセラミック共振子に用いられている圧電セラミック基板の縦波音速は,分極処理や電極形成を行った後フィルタ特性や共振特性を測定することによって求められている。この方法では種々の加工が必要なため結果が出るまでに時間がかかり,更にその測定値には加工ばらつきによる誤差も含まれてしまう等の問題がある。これらの問題を解消するために,超音波顕微鏡を用いたパルス干渉法による縦波音速測定法を,セラミック基板の音速測定に適用することを検討した。その結果,分極処理及び電極形成前のセラミック基板の超音波顕微鏡による測定値と,分極処理及び電極形成後のデバイスの中心周波数や共振周波数との間に高い相関を得ることができた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-07-22
著者
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