回転Y板ランガサイト単結晶基板の弾性表面波特性
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概要
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ランガサイト単結晶は、バルク波の分野と同様、弾性表面波の分野においても水晶なみの温度特性と水晶より大きい電気機械結合係数を持つと期待されている。チョコラルスキー法で育成した大口径のランガサイト単結晶から回転Y板を20゜おきに切り出し、漏洩弾性表面波と漏洩疑似弾性表面波の音速の理論解析と、超音波顕微鏡による測定を行った。解析に用いたIlyaevとKaminskiiの定数のうち、前者の定数の方が実測値に近い値を示した。結晶育成時に生じたコアと呼ばれる欠陥の見られるZカットとYカットの基板の一枚内バラツキを評価し、欠陥部は遅い音速を示すことを明らかにした。更に60゜回転Y板24゜X伝搬のレイリー波で良好な温度特性、大きい電気機械結合係数、ゼロパワーフロー角が得られることを明らかにした。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-01-28
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