超音波デバイス Y面LiNbO3基板上<10- 10>エピタキシャルZnO膜の形成--Y面LiNbO3基板上<10- 10>と<001>に配向制御

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概要

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著者

• 門田 道雄

  村田製作所

• 伊藤 吉博

  村田製作所

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