PB7 RF型ECRスパッタ装置によるZnO圧電膜の特性(ポスターセッションB)

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概要

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• 1992-11-30

著者

• 門田 道雄

  村田製作所

• 笠次 徹

  (株)村田製作所

• 笠次 徹

  村田製作所

• 皆方 誠

  静岡大学電子研

• 皆方 誠

  東北大学通研

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