有機高分子材料によるZnO/ガラス構造SAWフィルタの周波数調整
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概要
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SAW(弾性表面波)フィルタの特性、歩留り(良品率)に影響を与える項目の一つに中心周波数がある。SAWフィルタを製造するうえで中心周波数は重要な管理項目の一つである。LiNbO_3、LiTaO_3等の単結晶とは異なり、SnO/ガラス構造SAWフィルタにあらかじめIDTが形成されたガラス基板上にスパッタでSnO膜を成膜するため、成膜後のSAWフィルタの周波数が目標とする値からずれることがあった。この周波数のずれに不良ロットの対策として、有機高分子材料を用いて、安価で量産化に適した周波数調整方法を開発した。この手法における製品の安定性、信頼性、経時変化や生産上の問題点を十分検討し、この手法を生産工程に導入した。その結果、製造工程におけて、周波数のずれに不良ロットの救済はもちろんのこと、SAWフィルタの製造ロット間、ロット内の周波数ばらつき低減などに、大きな成果が得られた。
- 1992-02-01
著者
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