Y面LiNbO_3基板上エピタキシャル(100)配向ZnO膜および(001)配向多結晶膜の配向制御(音響・超音波サブソサイエティ合同研究会)
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概要
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c軸(001)配向多結晶ZnO膜は多くの基板で得られるが、エピタキシャルZnO膜は基板との格子定数の関係から基板に依存するため、特定の基板にしか得られない。従来c軸が横方向に配向したエピタキシャルZnO膜はR面((01-12)面)サファイア基板やLiTaO_3(11-20)基板上に(110)配向した膜しか報告されていない。本報告では+Y面((010)面)LiNbO_3基板を用い、(100)配向したエピタキシャルZnO膜を始めて得たことを報告する。また、同基板上に(001)配向多結晶膜ZnO膜を得ることもでき、2種類の配向面を自由に制御できた。さらにそれらのZnO薄膜を用いた実現した横波バルク波トランスジューサの特性や弾性表面波への応用についても述べる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2006-01-20
著者
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