超音波デバイス さまざまなNi電極構造によるSAW磁気センサ : Niから成るすだら状電極を用いたSAW共振子の感度について

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著者

• 門田 道雄

  村田製作所

• 伊藤 吉博

  村田製作所

• 伊藤 重夫

  村田製作所

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