重い電極/水晶基板構造の超小形なSH型LSAWデバイス(超音波エレクトロニクス)
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概要
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STカット水晶基板上をX軸と垂直な方向に波が伝搬するように,密度の大きい金属からなるすだれ状電極を構成にすることにより,減衰のない漏洩弾性表面波(LSAW)が励振される.この波は,Shear Horizontal(SH)成分だけをもち,良好な温度特性,大きな電気機械結合係数と反射係数をもつことを見出した.このSH型LSAWを共振子やフィルタに適用したところ,少ないIDT対数(従来の1/10)と小さい反射器(従来の1/35)とでデバイスを構成できたため,従来のSXカットX伝搬水晶基板上のレイリー波デバイスに比べ,面積比で1/4から1/5という非常に小さな共振子や共振子フィルタを実現できた.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-11-01
著者
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