超音波デバイス 音響光学素子を用いた歪み・振動センサ--弾性表面波と光の相互作用を用いたデバイスを歪・振動センサに応用

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概要

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著者

• 門田 道雄

  村田製作所

• 田中 伸治

  (株)村田製作所

• 山田 清和

  (株)村田製作所

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