スパッタリング法で作製したSrTiO_3薄膜の結晶性と誘電特性
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概要
著者
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田中 克彦
(株)村田製作所
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田中 伸治
(株)村田製作所
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田中 伸治
(株)村田製作所技術開発本部
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小林 真人
(株)村田製作所技術開発本部第3開発グループ開発2部
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田中 克彦
(株)村田製作所 技術開発本部
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中川原 修
(株)村田製作所 技術開発本部
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片山 祐三
(株)村田製作所 技術開発本部
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山田 一
(株)村田製作所技術開発本部
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片山 祐三
(株)村田製作所
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小林 真人
(株)村田製作所技術本部
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