高周波デバイス用薄膜多層電極の作製 : 導体薄膜/誘電体薄膜を交互積層した薄膜多層電極の導体損失低減効果とそのデバイス応用
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概要
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高周波領域において、表皮効果に起因する導体損失を低減する方法として考案された薄膜多層電極を、RFマグネトロンスパッタ法により作製し、その実効導電率が薄膜多層電極の積層数にほぼ比例することを実験的に確認した。さらに、2.6GHz帯デュプレクサに応用し、低背化に有効であることを示した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-03-13
著者
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中野 充
株式会社村田製作所
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小林 真人
(株)村田製作所技術開発本部第3開発グループ開発2部
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片山 祐三
(株)村田製作所 技術開発本部
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中野 充
(株)村田製作所技術開発本部第3開発グループ開発2部
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中川 賢俊
(株)村田製作所技術開発本部第3開発グループ開発2部
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片山 祐三
(株)村田製作所
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小林 真人
(株)村田製作所技術本部
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