小林 真人 | (株)村田製作所技術開発本部第3開発グループ開発2部

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著作論文

• スパッタリング法で作製したSrTiO_3薄膜の結晶性と誘電特性
• 高周波デバイス用薄膜多層電極の作製 : 導体薄膜/誘電体薄膜を交互積層した薄膜多層電極の導体損失低減効果とそのデバイス応用
• ダイナミックミキシング法によるZrN薄膜の作製

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