田中 克彦 | (株)村田製作所 技術開発本部

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概要

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  大阪大学 産業科学研究所

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  Research And Development Division, Murata Mfg. Co., Ltd

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• 小林 真人

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• 田中 克彦

  Research And Development Division Murata Mfg. Co. Ltd

• 田畑 仁

  ISIR-Sanken, Osaka University

• 川合 知ニ

  ISIR-Sanken, Osaka University

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著作論文

• レーザーアブレーション法による(Sr,Ba)Nb(O()エピタキシャル薄膜の作製と結晶性評価関西支部研究例会の講習要旨
• スパッタリング法で作製したSrTiO_3薄膜の結晶性と誘電特性
• レーザアブレーション法によるSrTiO_3(100)基板への(Sr,Ba)Nb_2O_6薄膜のヘテロエピタキシャル成長
• (Sr,Ba)Nb_2O_6薄膜の作製と基礎特性
• ECRスパッタ法によるInSb薄膜の組成制御
• ECRスパッタ法によるInSb薄膜の作製

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