中川原 修 | (株)村田製作所 技術開発本部

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• 中川原 修

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• 田中 克彦

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• 片山 祐三

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• 田中 伸治

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• 中川原 修

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著作論文

• レーザーアブレーション法による(Sr,Ba)Nb(O()エピタキシャル薄膜の作製と結晶性評価関西支部研究例会の講習要旨
• スパッタリング法で作製したSrTiO_3薄膜の結晶性と誘電特性
• The 11th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes (ISSP2011)

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