田中 克彦 | 株式会社 村田製作所

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概要

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  (株)村田製作所技術開発本部第3開発グループ開発2部

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著作論文

• Si基板上PZTエピタキシャル薄膜の形成
• PZT-PZN系圧電体厚膜の低温形成
• (Sr,Ba)Nb_2O_6薄膜の作製と基礎特性

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