久保田 哲平 | (株)村田製作所
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概要
関連著者
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著作論文
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- マイクロデバイス用 PZT-Si 機能材料一体化技術
- スクリーン印刷法によるPZT-PZN系圧電体厚膜の圧電特性の向上
- 2E06 スクリーン印刷法による圧電体厚膜の低温形成と高密度化
- F-1327 スクリーン印刷法によるPZT-PZN圧電体厚膜の低温形成とアクチュエータの特性(S49-2&S48 マイクロエネルギー(2)/精密機器マイクロメカトロニクス)(S49 マイクロエネルギー)
- 1E13 低温焼成プロセスによる PZT 系厚膜の作製
- PZT-PZN系圧電体厚膜の低温形成