櫻井 敦 | (株)村田製作所
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概要
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櫻井 敦
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著作論文
- MOCVD法によるPZT薄膜のエピタキシャル成長
- マイクロデバイス用 PZT-Si 機能材料一体化技術
- Si基板上PZTエピタキシャル薄膜の形成
- Si基板上のTi_Al_xN薄膜の結晶配向性
- エピタキシャル AI 電極を用いた SAW 共振子
- 1PD-7 エピタキシャルAl電極を用いたSAWデバイス(弾性表面波,ポスターセッション(概要講演))
- PB-14 SAWデバイス用エピタキシャルAl電極 : エピタキシャルAl膜on回転YカットLiNbO_3(P.ポスターセッションB-概要講演・展示)
- PC22 SAWデバイス用エピタキシャルAl電極 : エピタキシャルAl膜on 36°回転YカットLiTaO_3(ポスタセッションC-概要講演・展示)