MOCVD法によるPZT薄膜のエピタキシャル成長
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概要
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- 1998-11-05
著者
-
田中 克彦
(株)村田製作所
-
森本 章治
金沢大学
-
清水 立生
金沢大学
-
櫻井 敦
(株)村田製作所
-
李 効民
(株)村田製作所
-
白露 幸祐
(株)村田製作所
-
坂部 行雄
(株)村田製作所
-
田中 克彦
村田製作所
-
李 効民
株式会社 村田製作所
-
桜井 敦
(株)村田製作所
-
桜井 敦
村田製作所
-
清水 立生
金沢大 工
-
白露 幸祐
R & D Division Murata Mfg. Co. Ltd.
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