レーザアブレーション法によるSi(100)基板上へのTiN膜のエピタキシャル成長
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2000-02-10
著者
-
森本 章治
金沢大学
-
大坪 茂
石川高専
-
山田 悟
金沢大学
-
清水 立生
金沢大学
-
卯野 高史
金沢大学
-
Otsubo Shigeru
Department Of Electrical Engineering Ishikawa National College Of Tecchnology Tsubata
-
清水 立生
金沢大 工
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