MOCVD法による(Ba,Sr)TiO3薄膜積層コンデンサの試作及び評価 (特集 製造プロセス技術の新展開(1))

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• ティ-・アイ・シィ-の論文

著者

• 坂部 行雄

  (株)村田製作所

• 竹島 裕

  (株)村田製作所技術開発本部

• 坂部 行雄

  (株)村田製作所材料開発センター

関連論文

• ナノクリスタルにおける新材料設計課題 (特集 ナノクリスタルセラミックスの新展開)
• MOCVD法によるPZT薄膜のエピタキシャル成長
• Si 基板上 PZT-PZN 圧電体厚膜の低温形成(半導体・エレクトロニクス)
• マイクロデバイス用 PZT-Si 機能材料一体化技術
• スクリーン印刷法によるPZT-PZN系圧電体厚膜の圧電特性の向上
• 2E06 スクリーン印刷法による圧電体厚膜の低温形成と高密度化
• F-1327 スクリーン印刷法によるPZT-PZN圧電体厚膜の低温形成とアクチュエータの特性(S49-2&S48 マイクロエネルギー(2)/精密機器マイクロメカトロニクス)(S49 マイクロエネルギー)
• 28pYR-4 正方晶BaTiO_3の弾性的性質に関する第一原理計算
• Si基板上PZTエピタキシャル薄膜の形成
• 1E13 低温焼成プロセスによる PZT 系厚膜の作製
• PZT-PZN系圧電体厚膜の低温形成
• 25aYJ-8 FLAPW法によるPbTiO_3-Pd界面の研究
• Si基板上のTi_Al_xN薄膜の結晶配向性
• 単一溶液原料を用いた化学気相成長法によるMn添加(Ba, Sr)TiO_3薄膜の合成
• 2G02 マイクロエマルジョン法で合成した BaTiO_3 ナノ粒子の焼結挙動
• 1L03 先端電子機器用セラミックスの開発動向
• 2D18 ドナー添加 BaTiO_3 半導体の酸素欠陥
• 1D02 超微粒 BaTiO_3 の焼結過程のその場観察
• 3A18 コンデンサ用鉛系複合ペロブスカイト型誘電体材料における A/B 比とその誘電特性
• 2D18 六フッ化チタン酸の加水分解を利用したチタン酸鉛の薄膜形成
• 2A22 ZnTiNiO 系 PTC 材料の電気的性質
• 3D14 電極に添加した酸化マンガンがバリスタ特性に及ぼす影響
• 2C35 SrTiO_3 系誘電体を用いた銅電極積層コンデンサの特性
• 1B21 BaTiO_3 系半導体セラミックスの析出相の分析
• ナノクリスタルにおける新材料設計課題
• 20pXA-12 チタン酸バリウム磁器 : 進化と将来の展望(招待講演,誘電体(BaTiO_3系・SrTiO_3系),領域10,誘導体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性)
• がんばれ"もの創りニッポン"!
• 無鉛圧電セラミックス材料実用化への課題 (特集:環境にやさしい非鉛系圧電材料--セラミックスを中心として)
• 2p-B-7 ペロブスカイト型酸化物固溶体の相転移
• Ba_Sr_TiO_3の立方晶-六方晶転移に及ぼす焼成雰囲気の影響 : 組成・構造
• C-8 2次高調波を利用した厚み縦振動のエネルギー閉じ込めに関する有限要素法解析(圧電材料・振動子)
• 28a-L-8 BaYCuO系酸化物高温超伝導体のESR
• 26a-M-11 積層圧電磁器板における厚み縦2次高調波のエネルギー閉じ込め現象
• 最新セラミック材料シリーズ-14-誘電体材料
• 2a-BD-5 BaTiO_3 系固溶体の相転移 I
• チタン酸バリウム系廃材の低温リサイクルプロセス
• チタン酸バリウム系廃棄物の光触媒用酸化チタンへのリサイクル
• 2I03 BaTiO_3 の合成過程のその場観察
• 携帯型電子機器の発展に寄与した機能性セラミックス
• ニッケル積層コンデンサーの誕生
• 積層コンデンサー製法の新しい試み
• 強誘電体セラミックス-技術革新をもたらしたBaTiO_3とPb(Ti,Zr)O_3-
• MOCVD法による(Ba,Sr)TiO3薄膜積層コンデンサの試作及び評価 (特集 製造プロセス技術の新展開(1))
• オルソチタン酸バリウムを用いたCO_2吸収材の開発
• 525 Cu入りはんだとNiの接合界面分析
• Y_2O_3安定化ZrO_2-ZrSiO_4系セラミックスのイオン伝導性(イオン伝導性セラミックス)(導電性セラミックス)
• BaTiO3磁器の酸素欠陥と誘電特性 (セラミックスと酸素)
• セラミックコンデンサ (電気化学とコンデンサ)
• 26pGAA-2 電子セラミックスの発展歴史と今後の展望(26pGAA 領域10シンポジウム:誘電体応用研究最前線-Theory meets industry-,領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
• 23pRC-2 電子セラミックスの発展歴史と今後の展望(23pRC 領域10シンポジウム-Theory meets industry-:誘電体応用研究最前線,領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
• セラミックコンデンサ材料における最近の進歩 (エレクトロニクスセラミックス--現状と展望)
• 脱貴金属が可能になった--ニッケル電極積層磁器コンデンサ- (セラミックスニュ-フェ-ス)
• 誘電体を利用したマイクロカロリーメーターの検討

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク