単一溶液原料を用いた化学気相成長法によるMn添加(Ba, Sr)TiO_3薄膜の合成

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概要

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著者

• 田中 克彦

  (株)村田製作所

• 坂部 行雄

  (株)村田製作所

• 田中 克彦

  村田製作所

• 竹島 裕

  (株)村田製作所技術開発本部

• 竹島 裕

  (株)村田製作所

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